[其他]一种极微流量气体取样微漏孔的制造方法在审
| 申请号： | 101985000007238 | 申请日： | 1985-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN1006090B | 公开（公告）日： | 1989-12-13 |
| 发明（设计）人： | 王欲知;刘建生 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | 分类号： | ||
| 代理公司： | 电子科技大学专利中心 | 代理人： | 李晓洪;武登祥 |
| 地址： | 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明是一种新型极微流量气体取样微漏孔的制造方法。该方法是在一平面玻璃上，制作范围为１微米到２０微米的小孔（微漏孔）；该孔是通过高速钻削；化学腐蚀和电击穿三道工序制作而成。用本方法制作的微漏孔用在含气器件和设备的微量气体取样中具有漏率稳定；不易堵塞、质量歧视小的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 极微 流量 气体 取样 漏孔 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于电子科技大学，未经电子科技大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/101985000007238/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：微处理机系统
- 下一篇：校准压力测量装置的装置
- 同类专利
- 专利分类
