[其他]金属—氧化铝—硅结构湿度传感器及其制备工艺在审
| 申请号： | 101986000002535 | 申请日： | 1986-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN86102535B | 公开（公告）日： | 1988-11-16 |
| 发明（设计）人： | 骆如杨 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海冶金研究所 |
| 主分类号： | 分类号： | ||
| 代理公司： | 中国科学院上海专利事务所 | 代理人： | 季良赶;沈德新 |
| 地址： | 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： |
本发明是Ｓｉ－ＭＯＳ结构Ａｌ |
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| 搜索关键词： | 金属 氧化铝 结构 湿度 传感器 及其 制备 工艺 | ||
【主权项】：
暂无信息
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