[其他]直拉硅单晶的气相掺氮方法在审
| 申请号： | 101987000005811 | 申请日： | 1987-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN1003607B | 公开（公告）日： | 1989-03-15 |
| 发明（设计）人： | 阙端麟;李立本;陈修治 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | 分类号： | ||
| 代理公司： | 浙江大学专利代理事务所 | 代理人： | 连寿金 |
| 地址： | 浙江省杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： |
一种直拉硅单晶的气相掺氮方法，采用纯度为９９．９９％的氮气或者氩－氮混合气作为保护气氛实现气相掺氮，控制炉内气体压力为５～６０托，最佳压力为１５～２５托，气体流量为１～６ｍ |
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| 搜索关键词： | 直拉硅单晶 气相掺氮 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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