[发明专利]压力装置及方法

摘要

一种压力装置及方法，该压力装置，具有由上侧及下侧壳体部件(2、3)构成的真空腔1。在真空腔(1)内配置具有加热板(14、17)的上侧及下侧加压块(12、13)。表面支撑有薄膜状材料的基板(10)被在上侧及下侧加压块之间进行加压。在上侧及下侧加压块(12、13)中至少一方设有加压体(20)。加压体(20)通过向其内部空间内导入加压流体而其上下面可以沿上下方向移动。基板(10)的加压通过加压体(20)的上下面的移动进行。由设成刚性结构状态的、上侧及下侧加压块(12、13)的驱动机构(1)支撑加压力的反力。其使薄膜状材料不会残留气泡地嵌入并密着在基板表面的较深的凹部或孔内，且使薄膜材料平坦化。

主权项

1.一种真空压力装置，用于在基板上层叠、嵌入薄膜状材料，或者使基板上的薄膜状材料平坦化，其特征在于：包括真空压力部；被配置在该真空压力部上、并具有上侧及下侧壳体部件的真空腔，该真空腔能够通过使该上侧及下侧壳体部件相互密封配合并排出内部气体而形成减压状态，并能够通过使该上侧及下侧壳体部件相互分离而形成基板的出入口用的开口；用于将表面保持有薄膜状材料的基板通过所述开口移入及移出所述真空腔的基板传送机构，该基板传送机构具有相互之间保持基板并可以移动的上下一对薄膜带；用于夹持由所述基板传送机构移入的基板并对其进行加热及加压的、配置在所述真空腔内的上侧及下侧加压块，该上侧及下侧加压块具有加热板，并且在至少一方上至少具备1个具有上下面及在该上下面之间形成的内部空间的加压体，且该加压体基于所述内部空间的内压可以使所述上下面的至少一方沿上下方向移动，并通过向所述内部空间内导入加压流体而可以产生上下方向的加压力；以及用于使该上侧及下侧加压块相互接近及远离的第1驱动机构；所述第1驱动机构具有可以形成用于支撑在由所述加压体加压基板时产生的所述加压力的反力的刚性结构的机构。