[发明专利]真空蒸镀装置及用该装置制造有机EL显示面板的方法无效
| 申请号： | 200310101703.5 | 申请日： | 2003-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN1500904A | 公开（公告）日： | 2004-06-02 |
| 发明（设计）人： | 泽田恭彦;结城敏尚;村山竜史;尾越国三;石井和男 | 申请（专利权）人： | 日本东北先锋公司;新日铁化学株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;G02F1/361 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 党晓林 |
| 地址： | 日本山形*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种真空蒸镀装置及用该装置制造有机EL显示面板的方法，该真空蒸镀装置包含有由积层的框体所构成的蒸镀源，该框体的最底层形成有收容有机材料并将该有机材料加热蒸发的加热部，而前述框体的其它层形成有蒸镀流控制部，控制从加热部起到蒸镀对象的蒸镀流方向；在一对电极间形成有机层的有机EL显示面板的制造方法，在基板表面形成一对电极中的一个；在该形成的电极上要形成前述有机层时使用上述真空蒸镀装置，使用该真空蒸镀装置可提高蒸镀材料的利用效率；可提高所形成的薄膜的品质；对于大面积的面板可实行均匀的蒸镀。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 装置 制造 有机 el 显示 面板 方法 | ||
【主权项】：
1.一种真空蒸镀装置，其特征在于：该真空蒸镀装置包含有由积层的框体所构成的蒸镀源，该框体的最底层形成有收容有机材料并将该有机材料加热蒸发的加热部，而前述框体的其它层形成有蒸镀流控制部，控制自加热部朝向蒸镀对象的蒸镀流之方向。
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