[发明专利]一种化学增幅型正性抗蚀剂组合物无效
| 申请号： | 200310102365.7 | 申请日： | 2003-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN1499296A | 公开（公告）日： | 2004-05-26 |
| 发明（设计）人： | 高田佳幸;李荣濬;落合钢志郎 | 申请（专利权）人： | 住友化学工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039;G03F7/038 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王学强 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种含有结构单元(I)的树脂：化学式(I)中，R1表示含有1～4个碳原子的亚烷基，R2表示含有1～4个碳原子的烷基，R3表示氢或甲基。此外，本发明还涉及一种化学增幅型正性抗蚀剂组合物，该组合物中包含有以上所述的树脂和产酸源等。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学 增幅 型正性抗蚀剂 组合 | ||
【主权项】：
1.一种树脂，含有如化学式(I)的结构单元：![]()
化学式(I)中，R1表示含有1～4个碳原子的亚烷基，R2表示含有1～4个碳原子的烷基，R3表示氢或甲基。
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