[发明专利]基片缺陷检测装置无效
| 申请号： | 200310102458.X | 申请日： | 2003-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN1609601A | 公开（公告）日： | 2005-04-27 |
| 发明（设计）人： | 林辉巨 | 申请（专利权）人： | 统宝光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/86 | 分类号： | G01N21/86;G01N21/88 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 王志森;黄小临 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种基片缺陷检测装置，该装置由一个或多个图像提取装置以及一图像识别系统所组成。其中，图像识别系统与图像提取装置以及制造设备电连接，当图像提取装置提取到所检测的基片图像后，便传送该图像至图像识别系统，由识别系统来判断基片有无缺陷。若发现基片边缘有缺陷，则系统发出警告信息，并立即停止制造设备传送基片的操作，且通知人员处理，以降低基片在后续制造过程中发生破裂的机率。 | ||
| 搜索关键词： | 缺陷 检测 装置 | ||
【主权项】：
1.一种基片缺陷检测装置，用于实时检测一基片的缺陷，该基片缺陷检测装置至少包括：一图像提取装置，配置在该基片周围上方任意一位置，以提取该基片对应于该位置处的图像；以及一图像识别系统，电连接到该图像提取装置，以判断该图像提取装置所提取的一图像有无缺陷。
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