[发明专利]用于扫描隧道显微镜的步进电机

摘要

本发明公开了一种用于扫描隧道显微镜的步进电机。该步进电机包括一底座以及一移动块，该移动块可相对于底座移动。该步进电机还包括一容性定位传感器，该传感器为至少一个平板型电容器，该至少一个的平板型电容器的第一极板位于步进电机的底座的上表面，该电容器的第二极板位于步进电机的移动块的下表面。采用本发明的步进电机可通过测量容性定位传感器的电容值来测量电机的位移量，并在几毫米的范围内达到纳米尺度的精确定位。另外本发明的步进电机还可以用于薄膜生长，可控地在纳米尺度移动物体等诸多方面。同时它还具有结构紧凑、适于在低温下工作的特点。

主权项

1、一种容性定位传感器，其特征在于，该传感器为至少一个平板型电容器，所述至少一个的电容器包括平行布置的第一极板和第二极板，第一极板和第二极板之间可相对平行移动；所述至少一个电容器的第一极板和第二极板之间的平行移动引起电容值的变化，该电容值的变化与第一和第二极板之间的位移量对应。