[发明专利]促进电弧喷射涂层的涂覆和功能的部件特征设计有效
| 申请号： | 200310103855.9 | 申请日： | 2003-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN1500906A | 公开（公告）日： | 2004-06-02 |
| 发明（设计）人： | 艾伦·巴里·刘;乾盛·邹;詹姆斯·宋 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京东方亿思专利代理有限责任公司 | 代理人： | 杜娟;肖善强 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种在溅射室工件上形成涂层的方法和装置。所述装置一般包括具有至少一个工件的溅射室。所述至少一个工件一般包括一个或者多个在其上形成的沟槽，所述沟槽被配置来定义电弧喷射涂层区域。所述方法一般包括在所述工件中形成一个或者多个沟槽，所述沟槽定义涂层区域并通过电弧喷射对所述涂层区域涂覆金属涂层。 | ||
| 搜索关键词： | 促进 电弧 喷射 涂层 功能 部件 特征 设计 | ||
【主权项】：
1.一种溅射室，包括：至少一个其中形成有一个或者多个沟槽的工件，所述沟槽被配置来定义其上形成有涂层的电弧喷射涂层区域。
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