[发明专利]弹性表面波装置有效
申请号: | 200310104444.1 | 申请日: | 2003-10-29 |
公开(公告)号: | CN1612473A | 公开(公告)日: | 2005-05-04 |
发明(设计)人: | 门田道雄 | 申请(专利权)人: | 株式会社村田制作所 |
主分类号: | H03H9/25 | 分类号: | H03H9/25 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 罗亚川 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明是一种利用了使用由很难产生电极膜厚偏差所导致的频率特性偏差的铝构成的电极而构成的SH类型表面波的表面波装置,提供一种机电耦合系数k2大且反射系数大的弹性表面波装置。在欧拉角为(0°,90°~150°,90°±5°)的水晶基板(2)上形成由铝构成的电极,该电极的标准化膜厚H/λ在0.04~0.18的范围内,该电极具有叉指电极(3、4)及反射器(5、6),叉指电极(3、4)及反射器(5、6)的镀金属比在0.53~0.87的范围内。 | ||
搜索关键词: | 弹性 表面波 装置 | ||
【主权项】:
1.一种弹性表面波装置,其特征在于:其具备:ST切90°X方向输送且欧拉角为(0°,90°~150°,90°±5°)的水晶基板;和形成于上述水晶基板上,由铝构成,且以表面波的波长λ被标准化的膜厚H/λ在0.04~0.18范围内的电极,该电极有具有多根电极指的叉指电极和由多根电极指构成的反射器,上述叉指电极及反射器的镀金属比在0.53~0.87的范围内。
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