[发明专利]一种镀非晶金刚石膜的工艺

摘要

本发明涉及一种用碳离子轰击作为镀非晶金刚石膜的镀前处理方法。该方法包括以下步骤：1)清洗零件表面；2)将零件装入镀膜机的真空室中，抽真空达到1*10^－2Pa～1*10^－5Pa；3)用固体离子源对零件镀膜表面作碳离子轰击处理；4)离子束加速偏压电源转换，由高压电源转换到低压电源；5)镀非晶金刚石膜，达到要求膜厚；6)放气；7)取出零件包装。本发明故障率低、轰击均匀、轰击面积大、镀膜生产率高且镀膜设备成本低。

主权项

1、一种镀非晶金刚石膜的工艺，其特征在于：该方法包括下列步骤：1)清洗零件表面； 2)将零件装入镀膜机的真空室中，抽真空达到1*10-2Pa～1*10-5Pa；3)用固体离子源对零件镀膜表面作碳离子轰击处理；4)离子束加速偏压电源转换，由高压电源转换到低压电源；5)镀非晶金刚石膜，达到要求膜厚；6)放气；7)取出零件包装。