[发明专利]超精密研磨用膜片无效
| 申请号： | 200310107606.7 | 申请日： | 2003-10-01 |
| 公开（公告）号： | CN1528564A | 公开（公告）日： | 2004-09-15 |
| 发明（设计）人： | 朱秀杰;许小村;董丽华;赵延玲 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨理工大学 |
| 主分类号： | B24D3/00 | 分类号： | B24D3/00 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 | 代理人： | 毕志铭 |
| 地址： | 150080黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 超精密研磨用膜片，它涉及一种新型的研磨用具。它为薄片状结构，沿膜片的厚度方向依次为软基体的底膜层(1)和磨料层(2)，在磨料层(2)内均匀的固着有磨料(3)，底膜层(1)和磨料层(2)均由树脂材料制成，磨料层(2)中的磨料(3)为人造金刚石磨料、立方氮化硼磨料、氧化物磨料或碳化物磨料。本发明研制出磨料在固着状态下磨削的工具，从而改变了传统的研磨工艺，使磨削工艺具有研磨效果好、效率高、可以加工复杂元件、能够实现加工过程自动化、不污染环境的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 精密 研磨 膜片 | ||
【主权项】：
1、超精密研磨用膜片，其特征在于它为薄片状结构，沿膜片的厚度方向依次为软基体的底膜层(1)和磨料层(2)，在磨料层(2)内均匀的固着有磨料(3)，底膜层(1)和磨料层(2)均由树脂材料制成，磨料层(2)中的磨料(3)为人造金刚石磨料、立方氮化硼磨料、氧化物磨料或碳化物磨料。
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