[发明专利]制备具有高度取向的非铅系钙钛矿结构铁电薄膜的方法无效
申请号: | 200310108128.1 | 申请日: | 2003-10-23 |
公开(公告)号: | CN1537826A | 公开(公告)日: | 2004-10-20 |
发明(设计)人: | 翟继卫;姚熹 | 申请(专利权)人: | 同济大学 |
主分类号: | C04B35/465 | 分类号: | C04B35/465;C04B35/49;C04B35/47;C04B35/622 |
代理公司: | 上海正旦专利代理有限公司 | 代理人: | 陆飞;滕怀流 |
地址: | 20043*** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明属于电子材料和器件技术领域,具体为一种制备具有高度取向结构的非铅系钙钛矿结构铁电薄膜的方法。本发明采用溶胶-凝胶方法,并严格控制反应前驱体溶液的浓度为0.01M-0.1M之间,衬底采用LaNiO3/Pt/Ti/SiO2/Si。所制备的锆钛酸钡(BZT)系、钛酸锶钡(BST)系和钛锡酸钡(BTS)系铁电薄膜具有高度的(100)取向。 | ||
搜索关键词: | 制备 具有 高度 取向 非铅系钙钛矿 结构 薄膜 方法 | ||
【主权项】:
1、一种制备具有高度取向的非铅系钙钛矿结构铁电薄膜的方法,为一种溶胶凝胶法,其特征在于衬底采用LaNiO3/Pt/Ti/SiO2/Si;前驱体溶液的浓度控制在0.01M-0.1M之间。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于同济大学,未经同济大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/200310108128.1/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:分段式波形梁护栏立柱
- 下一篇:一种塑胶跑道及其制备方法