[发明专利]具有相移功能的三维电子散斑干涉仪

摘要

本发明涉及一种具有相移功能的三维电子散斑干涉仪，包括三绿激光器及其W、U、V场光路；其特点是：所述的W光路包括：激光器、全反射镜、扩束镜、分光器件；分光器件将一扩束光反射至被测物上，另一扩束光照射在漫反射器件上；分光器件d侧依次设置成像装置与摄像头，摄像头将拍摄的信息送至计算机；与漫反射器件光连接的是一受计算机控制的相移器；所述的U、V场光路包括：激光器与分光棱镜；分光棱镜将一路光经三个全反射镜送至扩束镜，由全反射镜射向被测物，另一路光经两个全反射镜送至扩束镜，由全反射镜射向被测物；被测物相对位置依次设置成像装置与摄像头，摄像头将拍摄的信息送至计算机；全反射镜另侧设置受计算机控制的相移器。

主权项

1.一种具有相移功能的三维电子散斑干涉仪，用于对物体变形后表面微位移量的精确测量，包括：三只固体绿激光器，以及用于处理数据的计算机部件，在所述的三只固体绿激光器后分别光连接设置W场光路(10)、U场光路和V场光路(20)；其特征在于：所述的W光路(10)包括：一只固体绿激光器(11)，该激光器(11)发射出一束激光(111)，与激光器(11)光连接且接收激光束(111)的是一全反射镜(12)，与全反射镜(12)光连接的是一扩束镜(13)；与扩束镜(13)光连接的是一分光器件(14)，该分光器件(14)接收扩束镜(13)送来的一扩束激光(111)并将该扩束激光一分为二，其中，一扩束激光反射至位于分光器件(14)b侧的被测物(B)上，另一扩束激光透射过分光器件(14)照射在位于分光器件(14)c侧的一漫反射器件(15)上；在分光器件(14)的d侧即与被测物(B)相向一侧设置一成像装置(17)，与成像装置(17)的另一侧相向设置一摄像头(18)，摄像头(18)将成像装置(17)中所被成像的被测物(B)的位置状况拍摄下来并将该信息送至计算机(19)；与漫反射器件(15)光连接的是一相移器(16)，该相移器(16)由计算机(19)控制输出的电压推动产生微小光程变化使漫反射器件(15)产生微小平移，漫射光通过分光器件(14)反射至成像装置(17)，由摄像头(18)接收后输入计算机(19)；所述的U场光路和V场光路(20)相同，包括：一激光器(21)，该激光器(21)发射出一束激光(211)，与激光器(21)光连接且接收激光束(211)的是一分光棱镜(22)；该分光棱镜(22)分出两路光，分光棱镜(24)分出的一路光经三个全反射镜(221、222、223)送至扩束镜(231)，再由全反射镜(224)射向被测物(B)，分光棱镜(22)分出的另一路光经两个全反射镜(225、226)送至扩束镜(231)，再由全反射镜(227)射向被测物(B)；在被测物(B)的相对位置设置一成像装置(27)，与成像装置(27)相对设置的摄像头(28)，该摄像头(28)将成像装置(27)中被测物(B)的位置状况拍摄下来并将该信息送至计算机(29)中；在全反射镜(227)的另侧设置一相移器(26)，该相移器(26)由计算机(29)输出电压控制产生微小平移，以使光程也相应变化。