[发明专利]内涨鼓泡法检测金刚石涂层附着强度的测量装置

摘要

内涨鼓泡法检测金刚石涂层附着强度的测量装置主要包括测量基座，He－Ne激光干涉测量系统，压力给进系统，压力测量系统。测量基座是四孔底部相连、边长为7cm的立方体有机玻璃块平台，四孔出口分别与样品支架、压力测量系统、压力给进系统和卸荷阀相连接。采用无变形钢螺栓制作样品支架，采用“嵌入式”连接压力测量系统，采用OFV－3000光纤激光振动仪作为He－Ne激光干涉测量系统，采用注射泵作为压力给进系统加压机构，采用卸荷阀对系统压力进行调整。该测量装置不仅能精确定量测定金刚石涂层的附着强度，而且测量范围不受基体形状及附着强度大小的限制，可方便地用于复杂形状基体金刚石涂层的附着强度测量，因而具有显著的经济效益。

主权项

1.一种内涨鼓泡法检测金刚石涂层附着强度的测量装置，其特征在于该测量装置包括：测量基座(6)、He-Ne激光干涉测量系统(1)、样品支架(3)、压力测量系统(4)、压力给进系统(5)、卸荷阀(7)、信号放大器(8)和计算机控制系统(9)，测量基座(6)是由有机玻璃块加工成边长为7cm的立方体平台，在立方体四个面的中心开有四个孔，四个孔的底部相互连通，孔的直径为2mm，其中顶面、底面和左面的三个孔出口处加工成螺纹孔；样品支架(3)通过螺纹连接直接旋入到测量基座(6)的顶面螺纹孔中，旋入到有机玻璃块内的样品支架(3)螺栓末端用O型密封圈(11)进行密封；压力测量系统(4)中的压力传感器(10)通过螺纹连接直接旋入到测量基座(6)左面螺纹孔中，联接螺纹采用聚四氟乙烯生料带进行密封， 压力测量系统(4)的信号输出端与计算机控制系统(9)电连接；压力给进系统(5)是由注射泵和步进马达组成，而注射泵则是由密封套管(16)和压力推进杆(17)组成，注射泵通过压盖(14)和4个紧固螺钉(15)被固定在测量基座(6)右面孔中，并采用O型密封圈(13)进行密封，步进马达的驱动信号线与计算机控制系统(9)相连接；卸荷阀(7)通过螺纹连接直接旋入到测量基座(6)底面螺纹孔中，旋入到有机玻璃块内的螺栓末端用O型密封圈(12)进行密封；He-Ne激光干涉测量系统(1)的信号输出端与信号放大器(8)电连接，信号放大器(8)与计算机控制系统(9)电连接。