[发明专利]滤光片式分光元件

摘要

本发明公开了一种滤光片式分光元件，它是通过设计一系列透射峰位连续的超窄带通滤光片，并将其集成在一起形成滤光片式的分光元件。它包括：二片衬底，二片衬底的一表面各镀有完全相同的无序型膜系，在二无序型膜系之间的四周边缘粘有高分子聚合物材料制成的微米小球胶，使其真空密封固定成一体，中间形成一真空层。其中一片衬底的无序型膜系是镀在深浅渐变的凹槽列阵上的。本发明的分光元件结构简单、体积小，分出的光束单色性好。如果加上入射狭缝和出射狭缝就可以构成一个完整的单色仪，非常有利于与其它系统的组合，构成各种光谱测量系统。

主权项

1.一种滤光片式分光元件包括：二片衬底，二片衬底的一表面各镀有完全相同的无序型膜系(3)，在二无序型膜系之间的四周边缘粘有高分子聚合物材料制成的微米小球胶(4)，使其真空密封固定成一体，中间形成一真空层(5)；其特征在于：所说的无序型膜系(3)是由低折射率的二氧化硅膜层或一氧化硅膜层与高折射率的五氧化二钽膜层或锗膜层交替叠层至少12次构成的，每一膜层的厚度是随机涨落的层厚；所说的衬底(1)的表面是平面，无序型膜系是镀在一平面上的，衬底(2)的一面是平面，另一面刻有深度不同的凹槽列阵(5)，无序型膜系是镀在有凹槽列阵的一面上的，凹槽深度差根据分光要求定。