[发明专利]透镜衍射波面测量仪无效
申请号: | 200310108491.3 | 申请日: | 2003-11-07 |
公开(公告)号: | CN1542415A | 公开(公告)日: | 2004-11-03 |
发明(设计)人: | 张明丽;刘立人;万玲玉;章磊;栾竹 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
主分类号: | G01J9/02 | 分类号: | G01J9/02 |
代理公司: | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人: | 张泽纯 |
地址: | 201800上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种透镜衍射波面测量仪,其特点在于它是由共轴设置的圆形孔径光阑、会聚透镜和CCD探测器构成,该会聚透镜的尺寸略大于圆形孔径光阑的孔径且靠近该圆形孔径光阑放置,所述的CCD探测器位于会聚透镜之后,放在可沿光轴方向移动的精密的位置调整架上,CCD探测器与计算机图像处理系统相连。本发明具有结构简单、加工便利、使用操作方便的特点,可简便地测量任一波长光波的波面像差。 | ||
搜索关键词: | 透镜 衍射 测量仪 | ||
【主权项】:
1、一种透镜衍射波面测量仪,其特征在于它是由共轴设置的圆形孔径光阑(1)、会聚透镜(2)和CCD探测器(3)构成,该会聚透镜(2)的尺寸略大于圆形孔径光阑(1)的孔径且靠近该圆形孔径光阑(1)放置,所述的CCD探测器(3)位于会聚透镜(2)之后,放在可沿光轴方向移动的精密的位置调整架上,CCD探测器(3)与计算机图像处理系统相连。
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