[发明专利]紧凑型马赫曾德干涉结构及制作方法无效
| 申请号： | 200310108863.2 | 申请日： | 2003-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN1544967A | 公开（公告）日： | 2004-11-10 |
| 发明（设计）人： | 林志浪;张峰;王永进;曹共柏;陈志君 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | G02B6/26 | 分类号： | G02B6/26;G02B6/28;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 潘振甦 |
| 地址： | 200050*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种紧凑型马赫曾德干涉结构及制作方法，其特征在于采用结构紧凑的T型波导分支器取代传统的马赫曾德干涉结构中所采用的Y型波导分支器，极大地缩小了器件结构的长度，克服了传统器件结构长度长、制作困难的缺点。本结构通过应用大角度、小尺寸、低损耗的全反射型弯曲波导实现了传输光的分束、合束以及传输方向的改变。全反射型弯曲波导的全反射镜凹槽可以利用各向异性湿法腐蚀或反应离子刻蚀等技术获得，而且传输光在每个全反射镜镜面的入射角度均大于全反射角；此外，通过全反射镜连接的相邻传输波导的轴线相互垂直。本器件结构可以以硅、绝缘层上的硅(SOI)、GeSi/Si、AlGaAs、GaAs、GaAs/AlGaAs、InP/InGaAsP等材料为基材料。 | ||
| 搜索关键词： | 紧凑型 马赫 干涉 结构 制作方法 | ||
【主权项】：
1、一种紧凑型马赫曾德干涉结构，包括两个波导臂，其特征在于采用结构紧凑的T型波导分支器取代传统的马赫曾德干涉结构中所采用的Y型波导分支器。
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