[发明专利]纳米微晶金刚石薄膜及其制备方法

摘要

本发明为一种纳米微晶金刚石薄膜及其制备方法。该薄膜为一种多层复合膜，由纳米尺寸的金刚石薄膜NCD和亚微米尺寸的金刚石薄膜依次交替相叠组成。每层NCD厚度为0.01－0.08微米，MCD厚度为0.1－0.3微米。其制备采用电子束辅助热灯丝化学气相沉积方法，二步法金刚石高密度成核优化生长工艺，多光束干涉薄膜厚度实时监控工艺，并选用合适的优化工艺条件。所得纳米微晶金刚石薄膜，除了具有CVD金刚石的优良性能外，其表面光散射大为减少，且短波透射率有明显改善。可广泛用作红外及可见光光学保护膜和增透膜、增反膜等光学器件。

主权项

1、一种纳米微晶金刚石薄膜，是一种多层复合膜，其特征在于由小颗粒纳米尺寸的金刚石薄膜NCD和大颗粒亚微米尺寸的金刚石薄膜MCD依次交替相叠组成。