[发明专利]OTP器件(五)无效
申请号: | 200310109233.7 | 申请日: | 2003-12-10 |
公开(公告)号: | CN1627526A | 公开(公告)日: | 2005-06-15 |
发明(设计)人: | 徐向明;胡晓明 | 申请(专利权)人: | 上海华虹NEC电子有限公司 |
主分类号: | H01L29/00 | 分类号: | H01L29/00;H01L29/92;H01L27/02;H01L27/115 |
代理公司: | 上海浦一知识产权代理有限公司 | 代理人: | 丁纪铁 |
地址: | 201206*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种OTP器件,将电容型晶体管直接做在衬底上。采用这样的结构,使本发明在普通逻辑工艺中,不追加任何光刻及工艺步骤的情况下,即可达到内藏高密度,高性能OTP器件的目的。本发明利用Native(本征)MOS电容结构的OTP器件不仅能大大缩小版图面积,同时达到提高耐压和提高有效电容效率等功效。 | ||
搜索关键词: | otp 器件 | ||
【主权项】:
1.一种OTP器件,包括电容型晶体管,其特征在于:将电容型晶体管直接做在衬底上。
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