[发明专利]OTP器件(二)无效
申请号: | 200310109234.1 | 申请日: | 2003-12-10 |
公开(公告)号: | CN1627527A | 公开(公告)日: | 2005-06-15 |
发明(设计)人: | 徐向明;龚顺强 | 申请(专利权)人: | 上海华虹NEC电子有限公司 |
主分类号: | H01L29/00 | 分类号: | H01L29/00;H01L29/92;H01L27/02;H01L27/115 |
代理公司: | 上海浦一知识产权代理有限公司 | 代理人: | 丁纪铁 |
地址: | 201206*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种OTP器件,在Word Line侧增大Poly的周长,增加Poly与扩散层间的边缘耦合周长来增大电容效率。本发明在普通逻辑工艺中,不改变其他逻辑工艺及器件其他特性的情况下,即可制作高密度内置OTP器件,并且生产周期短,制造成本低。 | ||
搜索关键词: | otp 器件 | ||
【主权项】:
1.一种OTP器件,其特征在于:在Word Line侧增大Poly的周长,增加Poly与扩散层间的边缘耦合周长来增大电容效率。
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