[发明专利]一种检测热垫板倾斜状态的方法无效
| 申请号： | 200310109594.1 | 申请日： | 2003-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN1629602A | 公开（公告）日： | 2005-06-22 |
| 发明（设计）人： | 郑铭仁 | 申请（专利权）人： | 上海宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | G01C9/00 | 分类号： | G01C9/00;G03F7/20;G03F7/16 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 201203上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种检测热垫板倾斜状态的方法，先选定一种较敏感的光阻剂，将其涂抹在一个硅片上，将硅片放在一标准热垫板上进行烘烤，再利用逐渐改变光源强度的步进式曝光法，来获得在同一光阻层厚度下，能将该光阻层曝光的最低曝光能量值，然后在另一硅片表面涂抹相同厚度的同样光阻层后，置于一待测热垫板上进行烘烤，使用所得的最低曝光光源对该晶片的光阻层进行曝光，借助晶片上的光阻层是否均匀曝光来判断热垫板是否倾斜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检测 垫板 倾斜 状态 方法 | ||
【主权项】：
1、一种检测热垫板倾斜状态的方法，其特征在于，包括：提供一个第一硅片；在该第一硅片表面涂一光阻层；将该第一硅片放在一待测热垫板上进行烘烤；以该光阻层的厚度的曝光临界能对该光阻层进行曝光，利用该光阻层是否均匀曝光来判断该预测定的热垫板是否倾斜。
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