[发明专利]锰铜－康铜复合拉氏压力传感器及其制造方法无效
| 申请号： | 200310110591.X | 申请日： | 2003-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN1546969A | 公开（公告）日： | 2004-11-17 |
| 发明（设计）人： | 浣石;黄风雷 | 申请（专利权）人： | 湖南大学 |
| 主分类号： | G01L9/02 | 分类号： | G01L9/02;G01L5/14 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所 | 代理人： | 赵洪 |
| 地址： | 410082湖南省长*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 一种锰铜一康铜复合拉氏压力传感器及其制造方法，该传感器由几何尺寸相同，形状完全重合的锰铜箔和康铜箔复合而成，中间隔有绝缘层。其制造方法是将锰铜箔和康铜箔清洗、干燥，在高温和加压下，分别在两种箔材的一面分别压上水溶性抗蚀干膜；经曝光机曝光后，膜靠膜地复合在一起，在同样的加温和加压下，将复合箔的另两面分别压上水溶性抗蚀干膜；将其插入具有完全相同形状且完全重合的两片具有传感器形状的底片之间曝光；再显影，未曝光部分与碱液反应水溶性抗蚀干膜被去掉，对应的锰铜箔和康铜箔的表面显露出来，再送入腐蚀机，去掉露出表面的部分箔材，用稀硫酸漂洗、清水冲洗，烘干备用。本发明可用于任意动高压流场压力测量，测量准确可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 锰铜 复合 压力传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1、一种锰铜-康铜复合拉氏压力传感器，其特征在于它由几何尺寸相同，形状完全重合的锰铜箔和康铜箔复合而成，中间隔有绝缘层。
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