[发明专利]柔性低辐射窗膜及其生产实时控制方法无效
| 申请号： | 200310110607.7 | 申请日： | 2003-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN1546722A | 公开（公告）日： | 2004-11-17 |
| 发明（设计）人： | 彭传才;李京增;魏敏;胡云慧;余圣发;钟碧城;胡浩龙 | 申请（专利权）人： | 湖南三才光电信息材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/20;C23C14/35;C23C14/56 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 | 代理人： | 马强 |
| 地址： | 410007湖南省长*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 一种柔性低辐射窗膜，它由镀制在透明柔性基材上的多层薄膜构成，该多层薄膜的膜系结构是SiOx－SSOx－Ag(Au－ITO或SiOx－SSOx－Ag(Au)－ITO－Ag(Au)－ITO，其中，Ag(Au)膜层为在银(Ag)中掺入重量比为15％－20％且均匀分布的金(Au)所组成的银合金。所述窗膜的实时监控方法是在多靶磁控溅射卷绕镀膜机收料辊一侧沿基膜横向安装多个发光二极管发射－接收探头且这些探头的发射光与所述基膜运行方向垂直，所述光接收探头的输出信号经放大器放大再由模数转换为数字信息送至单片计算机进行比较处理后，通过接口与上位机联接，由其控制靶功率输出，从而实时控制连续多层镀膜的厚度。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性 辐射 及其 生产 实时 控制 方法 | ||
【主权项】：
1.一种柔性低辐射窗膜，它由镀制在透明柔性基材上的多层薄膜构成，其特征是，该多层薄膜的膜系结构是SiOx-SSOx-Ag(Au)-ITO，其中，Ag(Au)膜层为在银(Ag)中掺入重量比为15％-20％且均匀分布的金(Au)所组成的银合金。
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