[发明专利]力反馈式真空微电子加速度传感器

摘要

力反馈式真空微电子加速度传感器，主要由动极板、阳极板、衬底、真空微腔和信号处理电路组成，阳极板、动极板及衬底键合在一起，在动极板中央形成真空微腔。其中动极板的阴极基板通过悬臂梁将质量块支撑在中央，质量块上有阴极锥尖阵列、反馈电极I，悬臂梁上有反馈电极引线I，阴极基板上有阴极引线I。阳极板具有阳极基板，阳极基板上有与阴极锥尖阵列相对设置的阳极电流收集区，形成工作电极对，与反馈电极I相对设有反馈电极II，形成反馈电极对，并分别引出阳极引线和反馈电极引线II。本发明具有抗辐射、灵敏度高、分辨率高、带闭环控制等优点。

主权项

1、力反馈式真空微电子加速度传感器，其特征在于主要由动极板、阳极板、衬底、真空微腔和信号处理电路组成，阳极板、动极板及衬底键合在一起，在动极板中央形成真空微腔(6)；其中动极板具有阴极基板(1)，阴极基板(1)通过悬臂梁(2)将质量块(3)支撑在中央，质量块上有阴极锥尖阵列(4)、反馈电极I(5)、反馈电极引线I(8)、阴极引线I(14)；阳极板具有阳极基板(9)，阳极基板(9)上有与阴极锥尖阵列(4)相对设置的阳极电流收集区(10)，形成工作电极对，与反馈电极I(5)相对设有反馈电极II(11)，形成反馈电极对，并分别引出阳极引线(12)和反馈电极引线II(13)；另有反馈电极引线III(16)、阴极引线II(15)分别与动极板上的反馈电极引线I(8)、阴极引线I(14)相对应，阴阳极板键合后，阳极板的反馈电极引线III(16)、阴极引线II(15)分别与动极板上的反馈电极引线I(8)、阴极引线I(14)键合在一起，反馈电极I(5)通过反馈电极引线I(8)、反馈电极引线III(16)接地；反馈电极II(11)通过反馈电极引线II(13)接进反馈电路20，锥尖阵列(4)通过质量块(3)、悬臂梁(2)、阴极基板(1)、阴极引线I(8)、阴极引线II((15)接进电流-电压转换电路(17)；阳极电流收集区(10)经过阳极引线接工作电压。