[发明专利]二维流体振动超光滑表面抛光设备及其抛光方法有效

专利信息
申请号: 200310112180.4 申请日: 2003-11-18
公开(公告)号: CN1618568A 公开(公告)日: 2005-05-25
发明(设计)人: 郭钟宁;于兆勤;何冰强;杨忠高;张永俊 申请(专利权)人: 广东工业大学
主分类号: B24B1/00 分类号: B24B1/00
代理公司: 广州粤高专利代理有限公司 代理人: 何燕玲
地址: 510090广*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开二维流体振动超光滑表面抛光设备及其抛光方法,抛光设备由旋转驱动机构、角度调整机构、行星轮机构、超声波发生装置、水平方向振动发生器、抛光槽、工件装夹机构、抛光液循环装置构成;上述抛光槽在水平方向振动发生器作用下可以在水平方向上来回往复振动;上述抛光设备使用流体作为抛光工具,通过超声波发生装置使流体产生垂直方向的超声振动,与水平方向振动发生器所产生的水平振动构成二维流体振动;本发明可以低成本地实现平面的超光滑抛光。
搜索关键词: 二维 流体 振动 光滑 表面 抛光 设备 及其 方法
【主权项】:
1.一种二维流体振动超光滑表面抛光设备,其特征是:由旋转驱动机构、角度调整机构、行星轮机构、超声波发生装置、水平方向振动发生器、抛光槽、工件装夹机构、抛光液循环装置构成;上述抛光槽在水平方向振动发生器作用下可以在水平方向上来回往复振动;上述抛光设备使用流体作为抛光工具,通过超声波发生装置使流体产生垂直方向的超声振动,与水平方向振动发生器所产生的水平振动构成二维流体振动。
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