[发明专利]用于三维微细加工或高密信息存储的双光子/共焦光学加工装置及其方法

摘要

本发明涉及一种用于三维微细加工或高密信息存储的双光子/共焦光学加工装置及其方法，它属于三维光学加工和信息存储技术。该装置包括光学系统、工作台和控制系统三部分；光学系统中包括双光子光源系统和单光子光源系统，由各自的激光器、扩束组件、滤色片和分色镜组成，两者并行，共用主光路系统；主光路系统采用无限远平行光结构；两路光源系统中的分色镜通过切换机构分别转换到主光路系统中；实现加工和成像一体化的实时原位操作，节省了成本和时间。工作台是采用压电陶瓷驱动器和柔性铰链连接的平面杠杆放大机构及平行四连杆机构组成的二维微位移工作台，精度高、扫描范围大，可大大提高加工质量和分辨率。克服了光束扫描方式的缺陷。

主权项

1、一种用于三维微细加工或高密信息存储的双光子/共焦光学加工装置，包括：光学系统；工作台；控制系统；光学系统包括光源系统和主光路系统，其特征在于，光源系统为两个，分别是双光子光源系统和单光子光源系统，由各自的激光器、扩束组件、滤色片和分色镜组成，两者并行，共用主光路系统；主光路系统采用无限远平行光结构；两路光源系统中的分色镜通过切换机构分别转换到主光路系统中。