[发明专利]微电容式麦克风系统及其制造方法有效
| 申请号： | 200310112933.1 | 申请日： | 2003-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN1635820A | 公开（公告）日： | 2005-07-06 |
| 发明（设计）人： | 王云龙 | 申请（专利权）人： | 美国通用微机电系统公司 |
| 主分类号： | H04R19/01 | 分类号： | H04R19/01;H04R31/00 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司 | 代理人： | 周建秋 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种微电容式麦克风系统，包括由若干个微电容式单元排列形成的可伸缩式麦克风阵列，各微电容式单元包括低电极，支撑在低电极上的薄膜，在薄膜与低电极之间形成真空密封空间，所述微电容式单元还包括硅基体，低电极层叠在硅基体上，薄膜表面的中心部分覆盖有中心信号线，在薄膜两侧分别形成一接地电极，两接地电极与中心信号线共同构成传输线。本发明还提供一种制造前述微电容式麦克风系统的方法。本发明的电容式麦克风具有灵敏度高、稳固性好的优点，且在宽频带使用时具有均匀频响。 | ||
| 搜索关键词： | 电容 麦克风 系统 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种微电容式麦克风系统，包括若干个微电容式单元排列形成的麦克风阵列，各微电容式单元包括低电极，支撑在低电极上的薄膜，在薄膜与低电极之间形成真空密封空间，其特征在于：所述微电容式单元还包括硅基体，低电极层叠在硅基体上，薄膜表面的中心部分覆盖有中心信号线，在薄膜两侧各形成一接地电极，两接地电极与中心信号线构成传输线。
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