[发明专利]全数字高频响微进给伺服单元

摘要

全数字高频响微进给伺服单元，属于微进给伺服单元技术领域。为了解决现有装置响应速度低、抗干扰性差等问题，本发明公开了一种全数字高频响微进给伺服单元，包括执行机构和控制系统，执行机构包括输出轴、直线导轨、固连在输出轴上的线圈，以及在线圈处形成闭合回路的永久磁铁、外导磁软铁和内导磁软铁；控制系统包括直线伺服控制器、驱动输出轴的功率放大器，以及用来检测输出轴运动的直线光栅；直线伺服控制器包括作为控制核心的DSP，以及分别与DSP连接的光栅计数接口电路、D/A转换器等外围电路；直线光栅采集的位置信号经光栅计数接口电路送入DSP，DSP发出的控制信号经D/A转换器转化为模拟信号送入功率放大器。

主权项

1.全数字高频响微进给伺服单元，包括执行机构和控制系统，所述执行机构包括输出轴(1)、支承所述输出轴的直线导轨(7)、固连在输出轴(1)上的线圈(3)，以及在所述线圈(3)处形成闭合回路的永久磁铁(4)、外导磁软铁(5)和内导磁软铁(6)；其特征在于：所述控制系统包括直线伺服控制器、驱动所述输出轴(1)的功率放大器，以及用来检测所述输出轴(1)运动的直线光栅(2)；所述直线伺服控制器包括作为控制核心的DSP，以及分别与DSP连接的光栅计数接口电路、D/A转换器、数据通信接口电路、中断控制接口电路、数字I/O接口电路；所述直线光栅(2)采集的位置信号经所述光栅计数接口电路送入DSP，所述DSP发出的控制信号经所述D/A转换器转化为模拟信号送入所述功率放大器。