[发明专利]气体传感器制造方法无效
申请号: | 200310114168.7 | 申请日: | 2003-11-06 |
公开(公告)号: | CN1499199A | 公开(公告)日: | 2004-05-26 |
发明(设计)人: | 佐口孝;松崎浩 | 申请(专利权)人: | 日本特殊陶业株式会社 |
主分类号: | G01N27/409 | 分类号: | G01N27/409 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 李德山 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 一种制造气体传感器的方法,该气体传感器包括一检测元件,该检测元件具有包含形成在固体电解质表面上的贵金属的电极,该方法包括:涂覆对所要测量的气体具有催化作用的贵金属晶核的第一步;以及使晶核生长的第二步,其中所述第一步采用了物理汽相淀积方法。 | ||
搜索关键词: | 气体 传感器 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种制造气体传感器的方法,该气体传感器包括一检测元件,该检测元件具有包含形成在固体电解质表面上的贵金属的电极,该方法包括:涂覆对所要测量的气体具有催化作用的贵金属晶核的第一步;以及使所述晶核生长的第二步;其中所述第一步采用物理汽相淀积方法。
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