[发明专利]制造微结构的方法无效
| 申请号： | 200310114283.4 | 申请日： | 2003-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN1506760A | 公开（公告）日： | 2004-06-23 |
| 发明（设计）人： | 雷纳·K·克劳斯;马库斯·施米特 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F1/08;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 李晓舒;魏晓刚 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开了一种制造微结构的方法。该方法采用光刻掩模技术和微接触印刷技术相结合。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 微结构 方法 | ||
【主权项】：
1.在衬底(24)中制造微结构(18)的方法，该方法采用光刻掩模技术和微接触印刷技术相结合。
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