[发明专利]覆晶封装制程及其所使用的基材及不沾焊料的印刷网版有效
申请号: | 200310115459.8 | 申请日: | 2003-11-26 |
公开(公告)号: | CN1574255A | 公开(公告)日: | 2005-02-02 |
发明(设计)人: | 苏昭源 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50;H01L21/60;H01L21/58;H01L23/12 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人: | 王一斌 |
地址: | 台湾省新竹*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明揭示一形成填充底胶的覆晶封装制程及其所使用的基材及不沾焊料的印刷网版。所述覆晶封装制程包含提供一基材,该基材上具有完全或至少露出部分于表面的导电焊垫,形成一自基材伸出且呈锥形的预上锡膏于导电焊垫上方,接着形成一含二氧化硅填充料的填胶材料于基材上,提供含导电凸块的芯片,将芯片附着于基材上,接着回焊该预上锡膏以完整地附着导电凸块及导电焊垫,借此更硬化该填胶材料。当该芯片接合于基材时导电凸块会对准于预上锡膏。 | ||
搜索关键词: | 封装 及其 使用 基材 焊料 印刷 | ||
【主权项】:
1.一种覆晶封装制程,包含至少下列步骤:提供一基材,该基材上具有一至少露出部分于表面的导电焊垫;形成一凸出于该导电焊垫上且呈锥形的预上锡膏;于该基材上形成一具有二氧化硅填充料的填胶材料;将一具有导电凸块的芯片附着于该基材上,其中该导电凸块对准该预上锡膏;以及回焊该预上锡膏以连结该导电凸块与该导电焊垫,形成一焊锡接点。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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