[发明专利]晶圆载入埠的搬运装置有效
| 申请号： | 200310115460.0 | 申请日： | 2003-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN1576202A | 公开（公告）日： | 2005-02-09 |
| 发明（设计）人： | 黄智洪;江文忠 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/07 | 分类号： | B65G49/07;B65G47/88 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王一斌 |
| 地址： | 台湾省新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种晶圆载入埠的搬运装置，用以沿着一高架传输系统传送一晶圆承载装置，晶圆载入埠的搬运装置包括：一晶圆载入埠，一轨道以及一机械手臂。轨道包括一水平组件以及一垂直组件，其中垂直组件包括一顶部，连接于水平组件，位于高架传输系统的一侧，以及一底部，从晶圆承载装置延伸。机械手臂是可移动式设置于轨道，用以在高架传输系统以及晶圆载入埠之间传送晶圆承载装置。 | ||
| 搜索关键词： | 载入 搬运 装置 | ||
【主权项】：
1.一种晶圆载入埠的搬运装置，用以沿着一高架传输系统传送一晶圆承载装置，其特征在于所述晶圆载入埠的搬运装置包括：一晶圆载入埠；一轨道，包括一水平组件以及一垂直组件，其中该垂直组件包括一顶部，连接于该水平组件，位于该高架传输系统的一侧，以及一底部，从该晶圆承载装置延伸；以及一机械手臂，可移动式设置于该轨道，用以在该高架传输系统以及该晶圆载入埠之间传送该晶圆承载装置。
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