[发明专利]动态氦罩检漏方法

摘要

一种动态氦罩检漏方法，其检漏装置包括一传输装置、氦罩箱、预抽装置及氦质谱检漏仪，其特征是该检漏方法包括3个连续的工序，其中，工序1是预抽装置依序对被检工件进行预抽真空；工序2是预抽好真空的工件由传输装置传送到氦罩箱，然后由氦罩箱内的传输链条托起，输送到氦罩箱顶端移位，再下降送出氦罩箱外；工序3是被检工件离开氦罩箱送到氦质谱检漏仪处，该氦质谱检漏仪对工件检漏普查；对有报警的工件再进一步用吸嘴法或喷吹法确定具体漏孔部位。该方法具有“累积法”特征，可以提高灵敏度几个数量级；该方法投资少，操作简单，便于普及推广应用，有利于提高密封性产品的产品质量，而具实用性。

主权项

1、一种动态氦罩检漏方法，其检漏装置包括一传输装置、氦罩箱、预抽装置及氦质谱检漏仪，其特征是：该检漏方法包括3个连续的工序，其中，工序1是预抽装置依序对被检工件进行预抽真空，预抽好真空的工件封闭后脱开接头；工序2是预抽好真空的工件由传输装置传送到氦罩箱，然后由氦罩箱内的传输链条托起，输送上升到氦罩箱顶端移位，再下降送出氦罩箱外；工序3是被检工件离开氦罩箱送到氦质谱检漏仪处，该氦质谱检漏仪对被检工件进行检漏普查，该氦质谱检漏仪对没有漏孔的工件不报警，检漏完毕；该氦质谱检漏仪对有漏孔的工件有报警，再进一步用吸咀法或喷吹法确定具体漏孔部位。