[发明专利]超纯水制造系统及其运转方法有效
申请号: | 200310115751.X | 申请日: | 2003-11-28 |
公开(公告)号: | CN1526649A | 公开(公告)日: | 2004-09-08 |
发明(设计)人: | 川田和彦;高桥健二;长舟平;荒木修;宫本吉夫;宫田一博 | 申请(专利权)人: | 奥加诺株式会社;株式会社瑞萨科技 |
主分类号: | C02F1/00 | 分类号: | C02F1/00 |
代理公司: | 北京三幸商标专利事务所 | 代理人: | 刘激扬 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明涉及在具有备有可更换的过滤器芯子的多个二次纯水制造系统的超纯水制造系统中,将高水质二次纯水制造系统的过滤器芯子出口管路与低水质二次纯水制造系统的过滤器芯子出口管路连接,并使各过滤器芯子处理水的供给处可相互切换的超纯水制造系统;以及更换高水质二次纯水制造系统的过滤器芯子后,至经预先试验求出的处理性能稳定期间经过前,将该高水质二次纯水制造系统的过滤器芯子的处理水供给至低水质二次纯水制造系统的过滤器芯子出口管路,同时将该低水质二次纯水制造系统的过滤器芯子的处理水,供给至高水质二次纯水制造系统的过滤器芯子的出口管路,处理性能稳定期间经过后,恢复成通常供给的超纯水制造系统的运转方法。 | ||
搜索关键词: | 超纯水 制造 系统 及其 运转 方法 | ||
【主权项】:
1.一种超纯水制造系统,其包括一次纯水制造系统,供给由该一次纯水制造系统制造的纯水的一次纯水罐,至少备有可以更换的过滤器芯子、将上述一次纯水罐中的纯水精制成水质要求不同的多种超纯水的、互相并列设置的多个二次纯水制造系统,以及向各使用场所供给由各二次纯水制造系统制造的超纯水的超纯水供给管路,其特征在于,以使各过滤器芯子处理水的供给处可互相切换的方式,将水质要求相对较高的高水质二次纯水制造系统的过滤器芯子出口管路和水质要求相对较低的低水质二次纯水制造系统的过滤器芯子出口管路连续。
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