[发明专利]致动器及其制造方法无效
| 申请号： | 200310115769.X | 申请日： | 2003-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN1504998A | 公开（公告）日： | 2004-06-16 |
| 发明（设计）人： | 宫野雅一;本间光尚 | 申请（专利权）人： | TDK株式会社 |
| 主分类号： | G11B5/58 | 分类号： | G11B5/58;H01L41/08;H01L41/22 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种致动器(1)，其具有一对臂(12)和一个将臂相互连接的连接部件(15)。臂(12)和连接部件(15)整个地由单晶硅形成。各自的压电装置(30)结合在臂(12)上。 | ||
| 搜索关键词： | 致动器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种致动器，其特征在于，包括：硅结构，整个地由单晶硅形成，具有一对臂和一个将所述臂相互连接的连接部件；以及结合在所述臂上的各自的压电装置。
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