[发明专利]一种紫外曝光机及其曝光量自动控制方法及其装置

摘要

本发明涉及一种紫外光曝光机曝光量控制装置为冷却罩1和10、光源2和9、遮光罩3和8、快门板4和11、传送带5、电动执行机构6和18、金属阴极板7、上探测器12和13、漫反射白板14和17、下探测器15和16、驱动器19、计算机20、信号放大变换器21和电缆22，方法利用对曝光时间和曝光量以数字化的方式进行精确控制，设计具有光照强度测量、曝光量计算和曝光时间自动控制的紫外曝光机，能与其它数字化的设备相连接，能够实现生产线上多台设备联动控制。在紫外光源的光照强度随时间发生强弱变化时，可探测结果来增加或减少曝光时间保证足够曝光量，减少光照过强或过弱产生影响，使金属阴极的生产合格率上有很大的提高。

主权项

1、一种紫外曝光机曝光量自动控制方法，其特征在于：在紫外曝光机的遮光罩上安装了多部紫外光强度探测器，在曝光快门板上放置标准漫反射白板；紫外光源在光源冷却罩的保护下发出强紫外光线照射到标准漫反射白板上，探测器感知漫反射白板反射的紫外光线的强度变化；光线强度信号被转换为电信号后被多路同时送入自动控制器中；在自动控制器中，多路电信号经过滤波与放大再由模拟/数字变换器变换为数字信号，数字信号被读入计算机内进行运算和相应的变换成为对应于光线照度的数据；依据该数据和标准曝光量计算出相应的曝光时间，并向电动执行机构发出开启曝光快门板的信号；曝光快门板打开后，紫外光对涂有光刻胶膜的金属阴极板进行曝光；同时，计算机对时间进行倒计时，计时结束后向电动执行机构发出关闭曝光快门板的信号，曝光快门板开闭，完成一次曝光过程，上述自动控制器对紫外曝光机的上下两部分进行分别控制。