[发明专利]晶片检验设备有效
| 申请号： | 200310116559.2 | 申请日： | 2003-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN1503340A | 公开（公告）日： | 2004-06-09 |
| 发明（设计）人： | 秋叶彻;土坂新一 | 申请（专利权）人： | 奥林巴斯株式会社 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66;G01N21/88;G01N21/01;G01B11/30;H01L21/68 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 黄剑锋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种晶片检验设备，具有使存放多个晶片(10)的片盒(4)升降的升降装置(5)、使从上述片盒内供给的上述晶片在XY方向上移动的XY载物台(7)、以及对放置在该XY载物台上的上述晶片进行检验的检验头，还包括：晶片旋转载物台(22)，设置在构成上述XY载物台的上载物台上，用于保持上述晶片；以及传送臂(18)，在把上述上载物台移动到与上述片盒的开口相对置的传递位置的状态下，通过上述晶片旋转载物台的上方，并在上述片盒和上述晶片旋转载物台之间进行直线移动，把上述晶片从上述片盒内传送到上述晶片旋转载物台上。 | ||
| 搜索关键词： | 晶片 检验 设备 | ||
【主权项】：
1、一种晶片检验设备，具有使存放多个晶片(10)的片盒(4)升降的升降装置(5)、使从上述片盒内供给的上述晶片在XY方向上移动的XY载物台(7)、以及对放置在上述XY载物台上的上述晶片进行检验的检验头，其特征在于，还包括：晶片旋转载物台(22)，设置在构成上述XY载物台的上载物台上，用于保持上述晶片；以及传送臂(18)，在把上述上载物台移动到与上述片盒的开口相对置的传递位置的状态下，通过上述晶片旋转载物台的上方，并在上述片盒和上述晶片旋转载物台之间进行直线移动，把上述晶片从上述片盒内传送到上述晶片旋转载物台上。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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