[发明专利]平板显示器生产设备基板支撑装置无效
申请号: | 200310116858.6 | 申请日: | 2003-12-01 |
公开(公告)号: | CN1511690A | 公开(公告)日: | 2004-07-14 |
发明(设计)人: | 许光虎;崔浚泳;李哲源 | 申请(专利权)人: | 爱德牌工程有限公司 |
主分类号: | B28D7/04 | 分类号: | B28D7/04 |
代理公司: | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 | 代理人: | 陈英 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 本发明是关于平板显示器生产设备的基板支撑装置,由基板支座、升降枢轴组成,其特征如下,基板支座(36)上有多个上端呈倒锥形柱状的垂直通孔,并水平放在玻璃基板上(40)。升降枢轴(32)插在上述通孔,形成多个升降枢轴,其上端与上述通孔上端一致,呈倒锥形柱状,从而控制基板(40)从基板支座(36)上抬起或降至基板支座(36)上,还能上下移动。如本发明所述,升降枢轴(32)呈非条状的锥形柱状,紧贴着基板支座(36),因此可以防止升降枢轴(32)部位(A)和无升降枢轴的部位产生温差及电位差。这样基板(40)不会产生斑点,均匀地成膜或者蚀刻(etching)。 | ||
搜索关键词: | 平板 显示器 生产 设备 支撑 装置 | ||
【主权项】:
1、一种平板显示器生产设备基板支撑装置,包括基板支座和升降枢轴,所述基板支座上可水平放置玻璃基板,其特征是,所述基板支座形成多个上端呈倒锥形柱状的垂直通孔;所述升降枢轴插在上述垂直通孔中,从而在所述基板支座上形成多个升降枢轴,其能上下移动,以便把上述基板从上述基板支座抬起或者放在上述基板支座上,该升降枢轴的上端具有一个呈倒锥形柱状端头,其与上述垂直通孔上端相匹配。
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