[发明专利]平行度测定方法

摘要

一种平行度测定方法，在用干涉距离短的第1光束对被检测体各光反射面进行干涉条纹测定时，也用干涉距离长的第2光束进行倾斜校正面测定，并根据来自各倾斜校正面干涉条纹图像信息的校正数据，对各光反射面倾斜信息校正，高精度进行光反射面间平行度测定。将载物台30设于第1位置，利用干涉距离短的光源11发出的光，得到光反射面20a第1干涉条纹图像信息，利用干涉距离长的光源12发出的光得到反射镜26的第2干涉条纹图像信息。将载物台30设于第2位置，得到光反射面20b第3干涉条纹图像信息及反射镜26第4干涉条纹图像信息。求第2、第4干涉条纹图像信息的倾斜信息，而对第1、第3干涉条纹图像信息的倾斜信息的差进行校正，且测定光反射面20a、b间的平行不均。

主权项

1、一种平行度测定方法，是一种将具有由沿上下方向排列的复数个光反射面构成的被检测面的被检测体载置于载物台上，并利用干涉仪装置对该复数个被检测面的平行度进行测定的方法，其特征在于其包括以下步骤：作为干涉仪装置的照明光，采用可将依据前述被检测面和干涉仪装置的参照面的距离而产生对比度变化的干涉条纹的第1光束、不依据该被检测面和该参照面的距离而产生一定对比度的干涉条纹的第2光束进行转换而构成，关于从复数个前述被检测面中所选降的第1被检测面，在利用前述第1光束产生干涉条纹的第1位置设定前述载物台，并在该状态下对该干涉条纹进行拍照得到第1干涉条纹图像，同时关于与前述复数个被检测面相对略平行固定的倾斜校正面，将利用前述第2光束所得到的干涉条纹进行拍照得到第2干涉条纹图像，之后，使前述载物台在上下方向进行移动，并关于从前述复数个被检测面中所选择的第2被检测面，在利用前述第1光束产生干涉条纹的第2位置设定前述载物台，且在该状态下对该干涉条纹进行拍照得到第3干涉图像，同时关于前述倾斜校正面，对利用前述第2光束所得到的干涉条纹进行拍照得到第4干涉条纹图像，之后，根据分别从前述第2干涉条纹图像和前述第4干涉条纹图像所得到的倾斜信息的差，对分别从前述第1干涉条纹图像和前述第3干涉条纹图像所得到的倾斜信息的差进行校正，并测定前述第1被检测面和前述第2被检测面的平行度。