[发明专利]光栅组件母板的制作方法有效
| 申请号： | 200310117160.6 | 申请日： | 2003-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN1624784A | 公开（公告）日： | 2005-06-08 |
| 发明（设计）人： | 邱国基 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | G11B7/135 | 分类号： | G11B7/135;G01D5/38;G02B26/00 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 祁建国;梁挥 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种光栅组件母板的制作方法，是利用光盘片制作技术以制作出光栅组件母板的结构，然而，在光阻层曝光的过程中，利用一具有光栅组件图形的掩模进行光阻层的曝光，以将掩模的图形转换到基板上，之后，再进行该光阻层的显影，以于该基板上形成一光栅组件的结构；于该基板上形成一电镀用的金属薄膜；以该金属薄膜为基础进行电镀，以形成一具有光栅组件结构的金属板；将该金属板与该基板分离，使该金属板形成该光栅组件的母板。本发明使光栅组件母板既达到高精密度的要求又能进行大量批量生产。 | ||
| 搜索关键词： | 光栅 组件 母板 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种光栅组件母板的制作方法，其特征在于，包括下列步骤：提供一基板；于该基板的表面涂布一光阻层；烘烤该基板；以一具有光栅组件图形的掩模进行该光阻层的曝光；进行该光阻层的显影，以于该基板上形成一光栅组件的结构；于该基板上形成一电镀用的金属薄膜；以该金属薄膜为基础进行电镀，以形成一具有光栅组件结构的金属板；将该金属板与该基板分离，使该金属板形成该光栅组件的母板。
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