[发明专利]三氟化氮生产反应器无效
申请号: | 200310117794.1 | 申请日: | 2003-12-23 |
公开(公告)号: | CN1535916A | 公开(公告)日: | 2004-10-13 |
发明(设计)人: | D·P·小萨谢尔 | 申请(专利权)人: | 波克股份有限公司 |
主分类号: | C01B21/083 | 分类号: | C01B21/083;C01B9/08 |
代理公司: | 上海专利商标事务所 | 代理人: | 周承泽 |
地址: | 美国新*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 一种生产三氟化氮的方法,通过氟气和液态氟化氢铵在具有相对低能量输入的第一反应区中的反应,以及紧接着在具有相对高能量输入的第二反应区中处理所得产物。所得到的三氟化氮粗产品可以进一步在升高的温度下用氟气处理,以提高所需产物的产量。 | ||
搜索关键词: | 氟化 生产 反应器 | ||
【主权项】:
1.一种生产NF3的方法,包括:a)第一反应区中,在相对低能量的环境中氟气以初始浓度与液态氟化氢铵反应,产生包括NF3和至少一些未反应的氟气的第一反应产物;以及b)在第二反应区中,在相对高能量的环境中,使包括未反应氟气的第一反应产物反应,产生第二反应产物,其中以至少充分地降低了在第一和第二反应区中由于氟气的腐蚀特性所引起的腐蚀的方式,在第一反应区中的低能量环境和第二反应区中的高能量环境下充分地将氟气转化为NF3。
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