[发明专利]曝光装置无效
申请号: | 200310118112.9 | 申请日: | 2003-11-13 |
公开(公告)号: | CN1501171A | 公开(公告)日: | 2004-06-02 |
发明(设计)人: | 尾崎多可雄;和田光示 | 申请(专利权)人: | 富士胶片株式会社 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;G02B26/10;H04N1/04 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 李香兰 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 一种曝光装置,在激光曝光装置(100)上,在由装载于支撑门架(122)上的CCD摄像机(124、126、128)读取了承载于向与扫描方向相反的方向移动的曝光载物台(108)上的电路板材料(102)的校正标记以后,由从激光扫描器射出的激光束对根据校正标记判断了位置的绘制区域进行曝光。此时,从沿扫描方向(S)的CCD摄像机(124、126、128)到激光扫描器(134)的测定距离,比分别对应于电路板材料(102)上的绘制区域的前端及后端而设的校正标记的间距长。这种曝光装置,即使在记录媒体上设置多个绘制区域,也能防止随着绘制区域的增加而增加对记录媒体的图像形成时间。 | ||
搜索关键词: | 曝光 装置 | ||
【主权项】:
1.一种曝光装置,一边使记录媒体向规定的扫描方向进行相对移动、一边由根据图像信息调制的光束对该记录媒体上规定的绘制区域进行曝光并在该绘制区域上形成对应于图像信息的图像,其特征在于,具有:读取部,在与向所述扫描方向进行相对移动的所述媒体相对向的读取位置、从该记录媒体读取对应于绘制区域而设置的校正标记;和信息处理部,根据从所述读取部读取的信息判断记录媒体上的绘制区域位置、并根据该绘制区域的位置进行对图像信息的位置变换处理;和曝光部,沿所述扫描方向配置在所述读取部的下游、且在与向所述扫描方向进行相对移动的记录媒体对向的曝光位置、由根据所述信息处理部的图像信息而调制的光束对该记录媒体的绘制区域曝光并在该绘制区域形成图像;使从沿所述扫描方向的所述读取部到所述曝光部的距离,比分别对应于由该曝光部曝光的绘制区域的前端及后端、或在将该绘制区域沿所述扫描方向划分的小区域的前端及后端设置的校正标记的间距长。
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