[发明专利]正型感光性组合物

摘要

本发明涉及具有红外波长区域激光感应性的碱可溶性的正型感光性组合物。其是一种不需要烤版、在作业室内的湿度为25～60％的条件下涂布可获得必要充分的粘合性、可以进行保持高灵敏度的不发生残渣的显影、能以锐利的轮廓切割、抗蚀剂膜非常硬的、提高在显影前的处理中的耐伤性的正型感光性组合物。其含有具有酚性羟基的碱可溶性有机高分子物质，吸收图像曝光光源的红外线变换成热的光热变化物质，和聚乙烯吡咯烷酮/聚醋酸乙烯酯共聚物等粘合改质剂。

主权项

1.一种正型感光性组合物，其特征在于，含有具有酚性羟基的、或具有与酚性羟基反应的环氧树脂的碱可溶性有机高分子物质，吸收图像曝光光源的红外线变换成热的光热变化物质，进一步作为粘合改质剂含有下述11种树脂中的任一种，所述11种树脂为：(1)聚乙烯聚吡咯烷酮/聚醋酸乙烯酯共聚物、(2)聚乙烯醇缩丁醛、(3)苯乙烯/马来酸共聚物、(4)乙烯吡咯烷酮/二甲基氨基乙基甲基丙烯酸酯共聚物、(5)乙烯吡咯烷酮/己内酰胺/二甲基氨基乙基甲基丙烯酸酯的三元聚合物、(6)萜酚树脂、(7)烷基酚树脂、(8)聚乙烯醇缩甲醛树脂、(9)三聚氰胺/甲醛树脂、(10)聚醋酸乙烯酯和(11)酮树脂。