[发明专利]掩模蒸镀方法及装置、掩模及其制造方法、显示板制造装置无效
| 申请号： | 200310118794.3 | 申请日： | 2003-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN1522098A | 公开（公告）日： | 2004-08-18 |
| 发明（设计）人： | 迹部光朗;四谷真一 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | H05B33/10 | 分类号： | H05B33/10;C23C14/24 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李香兰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种掩模蒸镀方法及装置、掩模及其制造方法、显示板制造装置。本发明的掩模蒸镀方法包括由台架1的静电引力将成为被蒸镀对象的玻璃基板(20)吸引的工序；将被吸引的玻璃基板与蒸镀掩模(2)的位置进行对齐的工序；以及使成为蒸镀对象的电致发光元件的有机化合物蒸发、蒸镀在玻璃基板(20)上的工序。而且，根据情况使蒸镀掩模具有静电吸盘功能，以提高紧密接合性。 | ||
| 搜索关键词： | 掩模蒸镀 方法 装置 及其 制造 显示 | ||
【主权项】：
1.一种掩模蒸镀方法，其特征在于：具有由静电引力吸引被蒸镀对象的工序；对所述被吸引的被蒸镀对象与蒸镀用掩模进行位置对齐的工序；及通过使蒸镀对象蒸发，对所述被蒸镀对象进行蒸镀的工序。
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