[发明专利]薄膜压电体元件和其制造方法以及使用其的驱动器有效
申请号: | 200310118800.5 | 申请日: | 2003-12-03 |
公开(公告)号: | CN1505177A | 公开(公告)日: | 2004-06-16 |
发明(设计)人: | 桑岛秀树;内山博一;小川裕子 | 申请(专利权)人: | 松下电器产业株式会社 |
主分类号: | H01L41/083 | 分类号: | H01L41/083;H01L41/22;G11B5/596;G11B21/10 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 李贵亮;杨梧 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明公开了一种薄膜压电体元件和其制造方法以及使用其的驱动器。其中,将构成薄膜压电体元件的一对第1压电体元件单元以及第2压电体元件单元电结合的第1对向电极以及第2对向电极作为共同的漂移电极。进而将各个压电体元件单元的第1主电极膜以及第2主电极膜接续,在两压电体元件单元之间施加电压。从而,不需要配置接地电极配线而仅仅通过2端子的配线就可以驱动第1压电体元件单元和第2压电体元件单元,从而大幅地简化了配线工序。 | ||
搜索关键词: | 薄膜 压电 元件 制造 方法 以及 使用 驱动器 | ||
【主权项】:
1.一种薄膜压电体元件,其构成如下:由一对的压电体元件构成,一对的上述压电体元件单元中,使第1主电极膜和第1对向电极膜所夹持的第1压电体薄膜和第2主电极膜和第2对向电极膜所夹持的第2压电体薄膜,上述第1对向电极膜以及上述第2对向电极膜相对并且通过连接层连接而构成的第1构造体和第2构造体配置在同一面上,并具有:在上述第1构造体和上述第2构造体之间设置,在各个上述第1对向电极膜之间以及上述第2对向电极膜之间部分地连接的结合区域部,将上述第1构造体的上述第1主电极膜和上述第2主电极膜之间,以及上述第2构造体的上述第1主电极膜和上述第2主电极膜之间分别接续的接续配线部。
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