[发明专利]加速度传感器

摘要

一种加速度传感器，其中，调节板通过粘接剂固定在传感器的传感器芯片的支承框架上，以便将传感器芯片的块部分的运动限制在预定间隙范围内。在加速度传感器中，粘接剂的粘接面积控制为预定值，以防止灵敏度由于粘接面积的变化而变化。该传感器芯片包括：块部分；框架，该厚框架包围块部分，并在该框架的上表面上有多个凹口，以便装入粘接剂；弹性支承臂，这些弹性支承臂桥接块部分和框架；以及应变仪，该应变仪形成于弹性支承臂上。调节板通过浆糊固定在该框架上。且与该块部分的上表面之间有预定间隙。该浆糊包含与粘接剂混合的硬塑料球，该硬塑料球的直径大于该预定间隙。该粘接剂优选是硅橡胶树脂。

主权项

1.一种加速度传感器，包括：加速度传感器芯片，该加速度传感器芯片有：块部分，该块部分位于加速度传感器芯片的中心；厚框架，该厚框架包围块部分，并离该块部分一定距离，且在该厚框架的上表面上有多个凹口；多个弹性支承臂，这些弹性支承臂桥接块部分的上表面和厚框架的上表面；以及应变仪，该应变仪形成于弹性支承臂的上表面上；以及上部调节板，该上部调节板这样安装，即，在块部分的上表面和该上部调节板的下表面之间有预定间隙，以便覆盖加速度传感器芯片，且该上部调节板通过装入厚框架上表面上的多个凹口中的浆糊而固定在该厚框架的上表面上；其中，该浆糊是混合有硬塑料球的粘接剂，该硬塑料球的直径大于在块部分的上表面和上部调节板的下表面之间的预定间隙。