[发明专利]半导体芯片承载基板及其制造方法无效

专利信息
申请号: 200310120273.1 申请日: 2003-12-10
公开(公告)号: CN1627489A 公开(公告)日: 2005-06-15
发明(设计)人: 林荣淦 申请(专利权)人: 玄基光电半导体股份有限公司
主分类号: H01L21/48 分类号: H01L21/48;H01L23/12;H05K3/00
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 代理人: 周国城
地址: 台湾省*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 发明提供一种半导体芯片承载基板及其制造方法,其是在一覆设有上、下导电层的金属基板开设复数第一通孔,而后塞孔以形成复数塞柱,接着再对该等塞柱进行第二次钻孔,以使每一第一通孔的孔壁上各形成一保护层,接续再于保护层上形成通孔导电层,以使每一通孔导电层的上、下部分别与该上、下导电层相接触。因此本发明提供一种双面连接型的金属基板,提供芯片直接安装于其上,以达成高散热性、延长芯片使用寿命及增加LED亮度等功效。
搜索关键词: 半导体 芯片 承载 及其 制造 方法
【主权项】:
1.一种半导体芯片承载基板的制造方法,其特征在于,包括下列步骤:提供一金属基板,该金属基板包括一金属板,在该金属板的上表面依序覆设有一上贴合胶层及一上导电层,且在该金属板的下表面依序覆设有一下贴合胶层及一下导电层;进行第一次钻孔作业,是对该金属基板钻孔,以形成复数第一通孔;将该等第一通孔填满而形成复数塞柱;进行第二次钻孔作业,是对该等塞柱钻孔,以形成复数第二通孔,且该第二通孔的孔径是较该第一通孔小,使每一该第一通孔的孔壁上各形成有一保护层:以及形成复数通孔导电层于该等第二通孔的孔壁上,以使每一该通孔导电层之上、下部分别与该上、下导电层相接触。
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