[发明专利]光敏抗蚀剂显影液用消泡分散剂无效
| 申请号： | 200310120468.6 | 申请日： | 2003-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN1503057A | 公开（公告）日： | 2004-06-09 |
| 发明（设计）人： | 保坂将毅;川俣大雅 | 申请（专利权）人： | 旭电化工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;B01D19/04;B01F17/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 张平元;赵仁临 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供在使用显影液的光敏抗蚀剂的显影工序中，对显影液的发泡消泡性优良且在显影液中产生的浮渣的分散性也优良的抗蚀剂显影液用消泡分散剂。一种光敏抗蚀剂显影液用消泡分散剂，其特征在于，含有相对于碳数15以上的高级脂肪酸100质量份，碳数6～14的中级脂肪酸的比率是5～300质量份的混合脂肪酸和脂族三元醇反应的部分脂肪酸酯。 | ||
| 搜索关键词： | 光敏 抗蚀剂 显影液 用消泡 分散剂 | ||
【主权项】：
1.一种光敏抗蚀剂显影液用消泡分散剂，其特征在于，含有：相对于碳数15或15以上的高级脂肪酸100质量份、碳数6～14的中级脂肪酸的比率是5～300质量份的混合脂肪酸和脂族三元醇反应生成的部分脂肪酸酯。
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