[发明专利]硬质被膜及硬质被膜被覆工具有效
申请号: | 200310120935.5 | 申请日: | 2003-11-19 |
公开(公告)号: | CN1504589A | 公开(公告)日: | 2004-06-16 |
发明(设计)人: | 石川刚史 | 申请(专利权)人: | 日立工具股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/06 | 分类号: | C23C14/06;C23C14/34 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 张平元;赵仁临 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 一种硬质被膜,它是通过电弧放电式离子镀法形成的,其特征在于:具有由AlxCr1-x-ySiy(其中,x和y以原子比计分别满足0.45≤x≤0.75、0≤y≤0.35和0.5≤x+y≤1。)表示的金属成分和N1-α-β-γBαCβOγ(其中,α、β和γ以原子比计分别满足0≤α≤0.15、0≤β≤0.35和0.003≤γ≤0.25。)表示的非金属成分构成的组成,并具有岩盐型晶体结构,(111)面或(200)面的X射线衍射峰的2θ半宽为0.5~2.0°,硬质被膜晶粒内存在的氧比晶界上的氧多。 | ||
搜索关键词: | 硬质 被覆 工具 | ||
【主权项】:
1.硬质被膜,其特征在于:它是通过电弧放电式离子镀法形成的,具有由AlxCr1-x(其中,x以原子比计满足0.45≤x≤0.75)表示的金属成分和N1-α-β-γBβCβOγ(其中,α、β和γ以原子比计分别满足0≤α≤0.15,0≤β≤0.35和0.01≤γ≤0.25)表示的非金属成分构成的组成,在(200)面或(111)面具有最大X射线衍射强度,在X射线光电子能谱法中,Al和/或Cr与氧的结合能为525~535eV。
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